Nitto 日东株式会社 晶圆吸附台用清洁材料 清洁晶圆
日东电工株式会社..1918成立日东电气工业株式会社，实现电气绝缘材料的国产化（东京大崎..晶圆吸附台用清洁材料清洁晶圆ウエハ吸着テーブル用クリーニング材 クリーニングウエハ製品写真一种晶圆清洁材料，用于收集附着在半导体制造设备的机械臂和夹头工作台上的异物。它是一种晶圆，可用于捕获与晶圆背面接触的微小异物，例如半导体制造设备，该装置对异物有困难。 清洁层面为下侧，设置在晶圆盒中，只需自动输送装置
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1918 成立日东电气工业株式会社，实现电气绝缘材料的国产化（东京大崎
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清洁晶圆
ウエハ吸着テーブル用クリーニング材 クリーニングウエハ製品写真
一种晶圆清洁材料，用于收集附着在半导体制造设备的机械臂和夹头工作台上的异物。
它是一种晶圆，可用于捕获与晶圆背面接触的微小异物，例如半导体制造设备，该装置对异物有困难。 清洁层面为下侧，设置在晶圆盒中，只需自动输送装置内即可捕获导致故障的微小异物，从而大大提高了装置利用率。 此外，在原始维护中使用时，可以预期防止故障并提高产量。
特点
结构
用途
奖项
特点
在虚拟晶圆的一侧，有一个清洁层，结合了异物收集和自动输送性能。
与传统方法相比，消除真空室中的异物引起的故障可以显著缩短时间。
与传统的人工清洁相比，它更简单、更频繁、更准确、更灵活。
凭借独特的技术和多年的经验，您可以放心地将其用于半导体预处理设备。
负责晶圆变薄的各种装置的相对较大的异物去除也非常出色。
结构
用途
半导体预处理工艺设备，特别是真空室中存在大量异物故障的工艺。
半导体工艺的整个工艺设备。
具有小舞台的设备，难以手动清洁。
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2011 收购美国阿比西亚生物技术公司，从事核酸药物合同制造
2012 阿比西亚生物技术更名为日东登科阿比西亚，收购土耳其本特公司
2013 总部迁至大阪（大阪大前）
2014 成立日东（青岛）研究院
2016 日东生物制药成立 研发
与人力资源开发相结合的设施inovas（因诺瓦斯）
2017 超薄偏振膜的制造方法的发明荣获“首相奖”
2019 无有机溶剂双面胶带荣获第46届“环境奖”优秀奖
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