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Nitto 日东株式会社 带真空 冲压机构的保护胶带粘贴装置 NEL SYSTEM系列

日东电工株式会社..1918成立日东电气工业株式会社,实现电气绝缘材料的国产化(东京大崎..带真空+冲压机构的保护胶带粘贴装置NEL SYSTEM™系列这是一个全自动类型的保护胶带粘贴机,支持300mm晶圆,在真空下将背磨保护胶带粘贴到晶圆图案表面,并结合平板压机机构。在传统的晶圆保护胶带贴附装置中,我们引进了真空和平板压机技术,这是一种带真空+压机的胶带贴片设备,可以无气泡、平滑、平坦地粘贴带

日东电工株式会社
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1918 成立日东电气工业株式会社,实现电气绝缘材料的国产化(东京大崎
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.带真空+冲压机构的保护胶带粘贴装置
NEL SYSTEM™系列
这是一个全自动类型的保护胶带粘贴机,支持300mm晶圆,在真空下将背磨保护胶带粘贴到晶圆图案表面,并结合平板压机机构。
在传统的晶圆保护胶带贴附装置中,我们引进了真空和平板压机技术,这是一种带真空+压机的胶带贴片设备,可以无气泡、平滑、平坦地粘贴带子,适用于具有大不规则性、台阶和凸块的半导体晶圆。

DV3000
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300mm 晶圆全自动保护胶带粘贴机(带真空粘贴和冲压功能)

操作流


特点
FOUP/开盒支持
通过差压/平板压机粘贴,可以无空隙地将带粘贴到凹凸晶片等具有凹凸的晶片上
通过触摸屏进行简单操作,操作条件配方设定/选择功能
运行管理标准设备
符合 CE 标志/SEMI S2/S8 标准
可安装晶圆映射扫描仪
可配备 SECS/GEM 功能
基本规格
适用框架尺寸:300mm
适用晶圆尺寸:300mm
适用晶圆厚度:775um
处理能力:45张/小时。
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2011 收购美国阿比西亚生物技术公司,从事核酸药物合同制造
2012 阿比西亚生物技术更名为日东登科阿比西亚,收购土耳其本特公司
2013 总部迁至大阪(大阪大前)


2014 成立日东(青岛)研究院
2016 日东生物制药成立 研发
与人力资源开发相结合的设施inovas(因诺瓦斯)
2017 超薄偏振膜的制造方法的发明荣获“首相奖”
2019 无有机溶剂双面胶带荣获第46届“环境奖”优秀奖
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