大塚电子 OTSUKA株式会社 日本进口 厚度监控器 FE-300V 大塚电子
OTSUKA 大塚电子株式会社主营：（一）科学仪器、光学仪器、医疗器械、工业测量仪器及其零配件的开发、制造、销售、修理和进出口; （1）试剂的生产、销售、进出口 （三）支持取得医疗器械经营许可证和医疗器械生产、上市审批申请 （2）科学仪器、光学仪器、 使用工业测量仪器的合同测量和数据提供（3） 与上述各项相关的所有业务产品信息ME 设备 分析仪器 泽塔电位测量 粒度和粒度分布测量分子量
主营：
（一）科学仪器、光学仪器、医疗器械、工业测量仪器及其零配件的开发
、制造、销售、修理和进出口;
（1）试剂的生产、销售、进出口
（三）支持取得医疗器械经营许可证和医疗器械
生产
、上市审批申请 （2）科学仪器、光学仪器、 使用工业测量仪器的合同测
量和数据提供
（3） 与上述各项相关的所有业务
产品信息
ME 设备 分析仪器 泽塔电位测量 粒度和粒度分布测量
分子量 差异折射 毛细管电泳 仪表 光谱相关设备
薄膜测厚仪和测厚仪 过程评估设备 功能材料评价设备
薄膜评估设备 半导体评估设备 光源和照度评估设备
FPD相关评估设备
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ME 设备
汇集尖端技术，通过开发临床试验和医疗设备，为人们的健康做出贡献
分析仪器
作为新材料分析核心技术的光散射技术在广泛领域的应用
仪表
将我们多年来培养的光谱测量和分析技术扩展到一个新的世界
ME 设备
离散自动临床化学分析仪 Hemotect NS-Prime
这是一款全自动粪便人血红蛋白分析仪，可通过胶体金比色法精确测量粪
便中的人血红蛋白。
（医疗器械公告第27B1X00055000008号）
红外光谱仪 新增功能
POConePlus可以指：13使用呼气收集袋测量用于使用C尿素制剂的尿素呼气
测试方法的呼气分析的医疗设备。
碳的同位素12一氧化碳2和13一氧化碳2利用在 中存在吸收差异的优势。
（医疗器械批准文号：23000BZX00214000）
荧光免疫色谱仪 DiaScan α
它是一款超紧凑型免疫色谱读数仪，是即时检测 （POCT） 的理想选择。
血细胞去除装置 阿达监视器 SC
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. 厚度监控器FE-300藤野贸易供应日本OTSUKA大塚电子厚度监控器FE-300藤野贸易供应日本OTSUKA大塚电子厚度监控器FE-300藤野贸易供应日本OTSUKA大塚电子厚度监控器FE-300藤野贸易供应日本OTSUKA大塚电子厚度监控器FE-300藤野贸易供应日本OTSUKA大塚电子厚度监控器FE-300藤野贸易供应日本OTSUKA大塚电子 特 長
薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応 反射スペクトルを用いた膜厚解析 コンパクト・低価格でありながらも非接触・非破壊で高精度測定を実現 条件設定や測定操作が簡単！どなたでも手軽に膜厚測定が可能 非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能 非線形最小二乗法の膜厚解析アルゴリズムにより、光学定数解析（n：屈折率、k：消衰計数）が可能
測定項目
絶対反射率測定 膜厚解析解析（10層） 光学定数解析（n：屈折率、k：消衰計数）
用 途
機能性フィルム、プラスチック
透明導電膜（ITO、銀ナノワイヤー）、位相差フィルム、偏光フィルム、ARフィルム、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、接着剤、粘着剤、プロテクトフィルム、ハードコート、耐指紋剤など 半導体
化合物半導体、Si、酸化膜、窒化膜、Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、 SOI、Sapphire、など 表面処理
DLCコート、防錆剤、防曇剤、など 光学材料
フィルタ、ARコート、など FPD
LCD（CF、ITO、LC、PI）、OLED（有機膜、封止剤）、など その他
HDD、磁気テープ、建材、など 測定原理
大塚電子では、光干渉法と自社製高精度分光光度計により、非接触・非破壊かつ高速高精度な膜厚測定を可能にしています。光干渉法は、図2のような分光光度計を利用した光学系によって得られた反射率を用いて光学的膜厚を求める方法です。図1のように金属基板上にコーティングされた膜を例にとると、対象サンプル上方から入射した光は膜の表面で反射します（R1）。さらに膜を透過した光が基板（金属）や膜界面で反射します（R2）。このときの光路差による位相のずれによって起こる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を演算する方法を光干渉法と呼びます。解析手法は、ピークバレイ法、周波数解析法、非線形最小二乗法、最適化法の4種類があります。
仕 様
型式 FE-300V FE-300UV FE-300NIR *1 全体 標準測定タイプ 薄膜測定タイプ 厚膜測定タイプ 厚膜測定タイプ
（高分解能） サンプルサイズ 最大8インチウェハ（厚さ5mm） 測定膜厚範囲
(nd) 100nm～40µm 10nm～20µm 3µm～300µm 15µm～1.5mm 測定波長範囲 450nm～780nm 300nm～800nm 900nm～1600nm 1470nm～1600nm 膜厚精度 ±0.2nm以内 *2 ±0.2nm以内 *2 - - 繰り返し精度 0.1nm以内 *3 0.1nm以内 *3 - - 測定時間 0.1s～10s以内 スポット径 約φ3mm 光源 ハロゲン 重水素とハロゲンの混合 ハロゲン ハロゲン インターフェイス USB 寸法、重量 <280（W)×570（D)×350（H）mm、約24kg ソフトウェア 標準 ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析、最小二乗法解析 オプション 材料評価ソフトウェア、ポスト解析ソフトウェア、膜モデル解析、リファレンスプレート
*1 詳細はお問合せください
*2 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の膜厚保証書記載の測定保証値範囲に対して
*3 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の同一ポイント繰り返し測定時における拡張不確かさ（包括係数 2.1）
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ME 设备
红外光谱仪
离散自动临床化学分析仪 Hemotect NS-Prime
荧光免疫色谱仪 DiaScan α
血细胞去除装置 阿达监视器 SC
分析仪器
Zeta 电位、粒径和分子量测量系统 ELSZneo
ZETA电位和粒度测量系统 ELSZneoSE
ZITA 电位、粒径和分子量测量系统 ELSZ-2000ZS
ZETA电位测量系统 ELSZ-2000Z
粒度/分子量测量系统 ELSZ-2000S
带AS50自动进样器的多样品纳米粒径测量系统nanoSAQLA
多分析物纳米粒径测量系统纳米SAQLA
聚合物相结构分析系统PP-1000
动态光散射光度计DLS-8000系列
动态光散射光度计DLS-6500系列
静态光散射光度计SLS-6500HL
光纤动态光散射光度计FDLS-3000
高灵敏度折光仪 DRM-3000
毛细管电泳系统 安捷伦 7100
仪表
显微光谱仪OPTM系列
OPTM系列带嵌入式头
MCPD系列嵌入式涂层厚度头
MCPD系列在线薄膜评估系统
线扫描胶片测厚仪®[在线型]
线扫描膜测厚仪®[离线型]
膜厚监测仪FE-300
嵌入式膜厚监测仪
多通道光谱仪 MCPD-9800/6800
椭圆光谱仪 FE-5000/5000S
光谱干涉晶圆测厚仪SF-3
高灵敏度光谱辐射计 HS-1000
总光通量测量系统 HM/FM 系列
光谱配光测量系统 GP系列
光谱辐照度测量系统
量子效率测量系统 QE-2100
延迟测量装置RETS-100nx
高速LED光学显示屏LE系列
彩色滤光片光谱特性分析仪LCF系列
电池间隙检测系统RETS系列
涂层厚度测量系统 FE-3700/5700
高速减速测量装置RE-200
高灵敏度近红外量子效率测量系统 QE-5000
透射率和吸光度测量应用 多通道光谱仪 MCPD 系列
用于反射率测量应用的多通道光谱仪 MCPD 系列
用于发射和荧光测量应用的多通道光谱仪 MCPD 系列
颜色测量应用多通道光谱仪MCPD系列
用于薄膜厚度测量应用的多通道光谱仪 MCPD 系列
单颗粒荧光诊断系统
量子点评估系统
负载端口涂层厚度测量系统 GS-300
超快光谱干涉仪测厚仪
紫外光谱总辐射通量测量系统
紫外光谱配光测量系统
紫外光谱辐照度测量系统
紫外光谱辐射计
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