大塚电子 OTSUKA株式会社 日本进口 光谱椭偏仪 FE-5000S 大塚电子
OTSUKA 大塚电子株式会社主营：（一）科学仪器、光学仪器、医疗器械、工业测量仪器及其零配件的开发、制造、销售、修理和进出口; （1）试剂的生产、销售、进出口 （三）支持取得医疗器械经营许可证和医疗器械生产、上市审批申请 （2）科学仪器、光学仪器、 使用工业测量仪器的合同测量和数据提供（3） 与上述各项相关的所有业务产品信息ME 设备 分析仪器 泽塔电位测量 粒度和粒度分布测量分子量
主营：
（一）科学仪器、光学仪器、医疗器械、工业测量仪器及其零配件的开发
、制造、销售、修理和进出口;
（1）试剂的生产、销售、进出口
（三）支持取得医疗器械经营许可证和医疗器械
生产
、上市审批申请 （2）科学仪器、光学仪器、 使用工业测量仪器的合同测
量和数据提供
（3） 与上述各项相关的所有业务
产品信息
ME 设备 分析仪器 泽塔电位测量 粒度和粒度分布测量
分子量 差异折射 毛细管电泳 仪表 光谱相关设备
薄膜测厚仪和测厚仪 过程评估设备 功能材料评价设备
薄膜评估设备 半导体评估设备 光源和照度评估设备
FPD相关评估设备
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ME 设备
汇集尖端技术，通过开发临床试验和医疗设备，为人们的健康做出贡献
分析仪器
作为新材料分析核心技术的光散射技术在广泛领域的应用
仪表
将我们多年来培养的光谱测量和分析技术扩展到一个新的世界
ME 设备
离散自动临床化学分析仪 Hemotect NS-Prime
这是一款全自动粪便人血红蛋白分析仪，可通过胶体金比色法精确测量粪
便中的人血红蛋白。
（医疗器械公告第27B1X00055000008号）
红外光谱仪 新增功能
POConePlus可以指：13使用呼气收集袋测量用于使用C尿素制剂的尿素呼气
测试方法的呼气分析的医疗设备。
碳的同位素12一氧化碳2和13一氧化碳2利用在 中存在吸收差异的优势。
（医疗器械批准文号：23000BZX00214000）
荧光免疫色谱仪 DiaScan α
它是一款超紧凑型免疫色谱读数仪，是即时检测 （POCT） 的理想选择。
血细胞去除装置 阿达监视器 SC
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光谱椭偏仪 FE-5000S 日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子光谱椭偏仪FE-5000日本OTSUKA大塚电子
特 長
紫外可視（250～800nm）の波長領域でのエリプソパラメータ測定が可能 ナノメータオーダーの多層薄膜の膜厚解析が可能 400ch以上のマルチチャンネル分光法によるエリプソスペクトルの迅速測定が可能 反射角度可変測定により、薄膜の詳細な解析に対応 光学定数のデータベース化およびレシピ登録機能の追加により操作性がアップ 層膜フィッティング解析による光学定数測定による膜厚・膜質管理が可能
測定項目
エリプソパラメータ（tanψ、cosΔ）測定 光学定数 ( n ： 屈折率 , k ： 消衰係数 ) 解析 膜厚解析
用 途
半導体ウェハー
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO 2 ，Si x O y ，SiN，SiON，SiN x ，Al 2 O 3 ，SiN x O y ，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光学定数(波長分散) 化合物半導体
Al x Ga (1-x) As 多層膜，アモルファスシリコン FPD
配向膜
プラズマディスプレイ用ITO，MgOなど 各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜 光学薄膜
TiO 2 ，SiO 2 ，多層膜，反射防止膜，反射膜 リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)，KrF(248nm)などの各波長におけるn，k評価
原 理 試料にs波とp波を含む直線偏光を入射し、その反射光の楕円偏光を測定します。s波とp波は位相と振幅が独立に変化して、試料に依存した2種類の偏光の変換パラメータであるp波とs波の反射率の比tanψおよび位相差Δが得られます。
仕 様
型式 FE-5000S FE-5000 測定サンプル 反射測定サンプル サンプルサイズ 100x100mm 200x200mm 測定方式 回転検光子法 *1 測定膜厚範囲(nd) 0.1nm～ 入射（反射）角度範囲 45～90° 45～90° 入射（反射）角度駆動方式 自動サインバー駆動方式 入射スポット径 *2 約φ2.0 約φ1.2sup *3 tanψ測定正確さ ±0.01以下 cosΔ測定正確さ ±0.01以下 膜厚の繰り返し再現性 0.01%以下 *4 測定波長範囲 *5 250～800nm 300～800nm 分光検出器 ポリクロメータ（PDA、CCD） 測定用光源 高安定キセノンランプ *6 ステージ駆動方式 手動 手動/自動 ローダ対応 不可 可 寸法、重量 650（W)×400（D)×560（H）mm
約50kg 1300（W)×900（D)×1750（H）mm
約24kg *7 ソフトウェア 解析 最小二乗薄膜解析（屈折率モデル関数、Cauchy分散式モデル式、nk-Cauchy分散式モデル解析など）
理論式解析（バルク表面nk解析、角度依存同時解析）
*1 偏光子駆動可能、不感帯に有効な位相差板着脱可能です。
*2 短軸・角度により異なります。
*3 微小スポット対応（オプション）
*4 VLSIスタンダードSiO2膜（100nm）を用いた場合の値です。
*5 この波長範囲内で選択可能です。
*6 測定波長により光源が異なります。
*7 自動ステージ選択時の値です。
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ME 设备
红外光谱仪
离散自动临床化学分析仪 Hemotect NS-Prime
荧光免疫色谱仪 DiaScan α
血细胞去除装置 阿达监视器 SC
分析仪器
Zeta 电位、粒径和分子量测量系统 ELSZneo
ZETA电位和粒度测量系统 ELSZneoSE
ZITA 电位、粒径和分子量测量系统 ELSZ-2000ZS
ZETA电位测量系统 ELSZ-2000Z
粒度/分子量测量系统 ELSZ-2000S
带AS50自动进样器的多样品纳米粒径测量系统nanoSAQLA
多分析物纳米粒径测量系统纳米SAQLA
聚合物相结构分析系统PP-1000
动态光散射光度计DLS-8000系列
动态光散射光度计DLS-6500系列
静态光散射光度计SLS-6500HL
光纤动态光散射光度计FDLS-3000
高灵敏度折光仪 DRM-3000
毛细管电泳系统 安捷伦 7100
仪表
显微光谱仪OPTM系列
OPTM系列带嵌入式头
MCPD系列嵌入式涂层厚度头
MCPD系列在线薄膜评估系统
线扫描胶片测厚仪®[在线型]
线扫描膜测厚仪®[离线型]
膜厚监测仪FE-300
嵌入式膜厚监测仪
多通道光谱仪 MCPD-9800/6800
椭圆光谱仪 FE-5000/5000S
光谱干涉晶圆测厚仪SF-3
高灵敏度光谱辐射计 HS-1000
总光通量测量系统 HM/FM 系列
光谱配光测量系统 GP系列
光谱辐照度测量系统
量子效率测量系统 QE-2100
延迟测量装置RETS-100nx
高速LED光学显示屏LE系列
彩色滤光片光谱特性分析仪LCF系列
电池间隙检测系统RETS系列
涂层厚度测量系统 FE-3700/5700
高速减速测量装置RE-200
高灵敏度近红外量子效率测量系统 QE-5000
透射率和吸光度测量应用 多通道光谱仪 MCPD 系列
用于反射率测量应用的多通道光谱仪 MCPD 系列
用于发射和荧光测量应用的多通道光谱仪 MCPD 系列
颜色测量应用多通道光谱仪MCPD系列
用于薄膜厚度测量应用的多通道光谱仪 MCPD 系列
单颗粒荧光诊断系统
量子点评估系统
负载端口涂层厚度测量系统 GS-300
超快光谱干涉仪测厚仪
紫外光谱总辐射通量测量系统
紫外光谱配光测量系统
紫外光谱辐照度测量系统
紫外光谱辐射计
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